技术编号：5936897
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及采用表面微机械加工实现的湿度传感器，特别是一种具有温漂补偿的电容湿度传感器。背景技术湿度传感器应用广泛，传统湿度传感器以湿敏电阻等为主，这类传感器虽然成本低，但精度较差。电容式湿度传感器是另一类常见的湿度传感器结构，该类传感器灵敏度高，是目前湿度传感器的主要形式。电容型湿度传感结构通常采用高分子材料作为感湿介质，由于感湿材料的热膨胀系数较大造成感湿特性也发生变化，因此需要作温度补偿。如瑞士 Sensirion的湿度传感器采用两个一致的叉指状结...
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