技术编号:5937458
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体来说涉及半导体制造与微机电系统(MEMS)的领域。更具体来说,本发明涉及用于通过使用同一验证质量块来同时感测旋转及线性加速度两者的系统及方法。背景技术惯性传感器是能够感测及/或产生运动的传感器。惯性传感器可含有微机电系统(MEMS)的装置。此类装置的实例包含能够感测加速度的加速计(例如,MEMS加速计)及能够感测旋转的回转仪(例如,MEMS回转仪)。然而,常规MEMS加速计不能够感测旋转,且类似地常规MEMS回转仪不能够感测加速度。具体来说,典型...
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