技术编号:5937507
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及高析像度的基于光干涉的形状测定方法及形状测定装置。背景技术作为基于光干涉的形状测定装置,有图6所示的结构(例如,参照专利文献I)。从光源601经由透镜602而照射的光通过分割机构603分割成参照光606和信号光604。参照光606由可动参照反射镜607反射。信号光604向被测定物605入射。如图6所不,可动参照反射镜607沿着I维方向(图6的上下方向)机械性地移动。通过使可动参照反射镜607移动,而能够限定信号光604的光轴方向上的被测定物605...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。