技术编号:5938032
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种生产薄膜的方法,所述薄膜包括选择气体透过的窗格。背景技术为了将特定气体与其它气体分离开来,从而确定感兴趣的气体是否出现,在测量和分析装置中需要选择气体透过的薄膜,这种薄膜的典型应用领域是检漏器,检漏器可用来检测从一泄漏点流出的探漏气体。典型的探漏气体中包括氦以及氢,探漏气体一般为轻气体,从而可透过薄膜,而重气体则无法透过该薄膜。欧洲专利申请文献EP O 831 964 BI (由莱宝真空有限公司(Leybold VacuumGmbH)申请,对...
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