技术编号：5939275
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种渗漏检测装置，包括用于连接测试室的测试入口、连接至测试气体检测器的高真空泵，和包括至少两个泵级(pump stage)的初步真空泵(预真空泵)。背景技术已知已经有用于连接至测试室的渗漏检测装置，该测试室容纳针对密封性的待检测的测试样品。该测试样品包含轻的测试气体，例如氦气，其可以被测试气体检测器(例如质谱仪)检测到。该测试气体检测器需要低于l(T4mbar的高真空。该高真空通过高真空泵产生，该高真空泵与初步真空泵串联运行。该高真空泵通常包括涡...
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