技术编号:5939546
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。背景技术专利文献I中记载有检测液晶显示器用基板的表面处理的终点的装置。该装置对液晶显示器用基板照射来自氙气灯或卤素灯等的光源的光,检测来自液晶显示器用基板的反射光,根据反射光的各波长的反射率而检测表面处理的终点。另外,专利文献2中记载有求得被蚀刻基板的蚀刻深度的装置。该装置对被蚀刻基板照射来自氙气灯等的白色光源的光,检测来自被蚀刻基板的反射光,由此求得被蚀刻基板的蚀刻深度。现有技术文献专利文献[专利文献I]日本特开平05-322515号公报[专...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。