具有静电放电(esd)保护的测试针阵列的制作方法技术资料下载

技术编号:5939686

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本发明涉及测试针阵列,更具体地说,涉及一种能够消除或减少静电电荷的测试针阵列。背景技术在现代微电子,静电放电(electrostatic discharge, ESD)控制的重要性已经是众所周知的了,并因此获得全体微芯片制造者的首要关注。大部分的关注集中在消除静电放电敏感元件的制造和处理过程中的静电放电。人体、设备和原料都需要合适地接地从而释放可能滞留在每个人体、设备和原料上的有害静电电荷。在现代的测试仪机中,常常可以发现越来越多的离子发生器设计成用于消除...
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