技术编号：5939918
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。总的来说，本发明涉及惯性传感器装置，具体地说，涉及微机械惯性传感器装置。背景技术几个单轴或多轴的微机械陀螺仪结构已集成在系统中以形成三轴陀螺仪组(cluster)。然而,对于特定的应用，由单独的传感器构成的这种陀螺仪组的尺寸会过大且成本也会过高。即使单轴或多轴陀螺仪能够装配在单个微机电系统(MEMS)芯片上，针对每个传感器还是需要单独的驱动和感应电子器件。·而且，在消费性/移动、自动化以及航空航天/国防的应用中，对三轴加速度检测的需求正在不断增长。许多单轴...
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