技术编号:5939942
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于携带终端或车辆等的检测加速度及角速度等的惯性力传感器。背景技术图11是现有的惯性力传感器I的剖视图。惯性力传感器I具备基体2、形成于基体2上的下部电极层3、形成于下部电极层3上的压电层4和形成于压电层4上的上部电极层5。在惯性力传感器I中,有时噪声等级变大,而使与惯性力传感器I连接的电路部的耗电量增大。专利文献I中公开了与惯性力传感器I类似的惯性力传感器。专利文献1(日本)特开2008 - 224628号公报发明内容惯性力传感器具备基体、设于...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。