技术编号：5940066
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS (微机电系统)类型的谐振双轴加速度计结构，具体而言涉及能够用高的电学性能检测在平面中的两个独立加速分量的MEMS类型的谐振双轴加速度计结构。背景技术众所周知，由于MEMS加速度计的极其紧凑的尺度、低消耗水平、以及良好的电学性能，当前在汽车工业、振动监测以及便携式电子设备之类的很多应用领域中使用MEMS加速度计。在文献中提出和当前在市场上存在的众多MEMS加速度计一般可以基于由对应微机电检测结构使用的检查原理分类为三类电容性、谐振和压电性...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。