技术编号：5940500
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电系统材料参数在线测试，尤其涉及多晶硅热膨胀系数的在线测试技术。背景技术目前微机电器件的性能与材料物理参数有密切的关系，而制造微机电器件的材料物理参数又与制造工艺过程有关。材料物理参数在线测试目的就在于能够实时地测量由具体工艺制造的微机电材料物理参数。多晶硅是制造微机电器件结构的重要的和基本的材料，通常通过化学气相沉积 (CVD)方法制造得到。热膨胀系数是多晶硅材料的重要物理参数，对于热驱动方式工作的微机电执行器尤为重要。微机电产品的制造厂商...
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