技术编号：5941069
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种洁净度检测设备，特别是一种大流量、高信噪比、高粒径分辨率、 小型化的具有新型光敏区结构的大流量半导体尘埃粒子计数传感器。背景技术尘埃粒子计数传感器是光散射计数法测量颗粒粒径分布所用的主要测量系统，广泛应用于电子、材料、制药、实验室等部门的洁净度检测。光学传感器是测量系统的核心部分。在先进激光尘埃粒子计数传感器所采用的技术方案中，流量已达至50L/min，如苏州鸿基洁净科技有限公司在2010年7月12日申请的实用新型专利“一种大流量尘埃粒子计数...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。