技术编号：5941515
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种能够以非接触的方式检查形成在基板上的导电图案的缺陷的电路图案检查装置。背景技术近年来，作为显示装置，在玻璃基板上使用液晶的液晶显示装置、或者利用等离子的等离子显示装置成为主流。在这些显示装置的制造工序中，对形成在玻璃基板上的成为电路配线的导电图案进行有无断路以及短路的缺陷检查。作为导电图案的检查方法，在例如日本特开2004-191381号公报中，使至少2个检查探针接近导体图案，一边在以非接触方式与导体图案电容耦合的状态下移动，一边从一个检查探...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。