技术编号:5941659
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种超高真空和极高真空量测设备,尤其涉及一种用于超高真和极高真空量测的冷阴极电子枪和采用该冷阴极电子枪的真空规管。背景技术当代科技发展迅猛,在许多高新,需要极高的真空环境,如宇宙空间的模拟,超导技术,核聚变反应,超低温和巨型粒子加速器技术等。而在超高真空领域,超高真空规的研究是必不可少的重要环节。已有技术中,Bayard和Alpert于1950年发明的BA型电离规广泛应用于高真空和超高真空量测,其结构如图1所示,该BA型电离规包括一玻璃外壳4,一...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。