技术编号：5941682
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微尺度半导体器件测量领域，尤其涉及。背景技术目前，微纳米器件中由于纳米接触形成的界面热阻随着半导体器件的日益微型化而成为微系统热管理和热设计研究的热点和难点。微处理器芯片、场效应传感器、热电能量转换器等大量使用半导体薄膜作为功能元件，通过堆积叠加形成大量的界面。由于半导体纳米复合热电材料内存在的大量界面增强了声子散射，对界面热阻的调控是进一步提高热电能量转换效率的关键。相比金属膜，半导体薄膜界面上的微观热输运具有新的特点，这也使半导体膜界面热阻的...
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