技术编号：5941773
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，用于微小流量正压漏孔的校准和测量，属于测量。背景技术正压泄漏检测技术在航天、表面、微电子、太阳能、光电子等科研生产中具有重要的意义，随着科技进步需要对更小漏率的泄漏进行检测，然而这些正压检测工具的标定将面临着严重的技术挑战。文献“正压漏孔校准装置”，《真空科学与技术学报》第21卷、2001年第I期、 第55 59页”，介绍了定容法和质谱计比较法校准正压漏孔，采用定容法校准下限是 5 X IO-6PamVs,限制定容法校准下限的主要因素是实验室温...
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