平面电机动子位移测量装置及方法技术资料下载

技术编号:5942410

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本发明涉及一种具有正弦磁场模型的等一类平面电机的动子位移测量装置及方法,特别涉及一种大行程高分辨率的细分位移测量装置及算法。背景技术在二维定位加工装置特别是现代半导体微细加工装备和其他超精密加工设备中, 高精密运动通常由平面电机实现。由于平面电机具有反应快、灵敏度高和结构简单等优点, 在学术界和工业界均受到广泛关注。专利201110045692. 8,专利200910029368. X,专利 200910088894. 3详细描述了几种不同结构的平面电机。...
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