技术编号:5942943
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及一种非接触电容式位移传感器,更具体地说,涉及一种能够准确地测量传感器和成形目标之间距离的非接触电容式位移传感器。背景技术 非接触电容式位移传感器是一种公知的通过检测传感器和目标之间电容量变化而测量传感器元件和目标元件之间距离的传感器。普通的非接触电容式位移传感器通常包括一种探测器设备,其包括一传感器元件、一防护元件和一接地元件。所述防护元件围绕所述传感器元件,从而使该传感器对该传感器和探测器的其它部位之间可能产生的电容量不敏感。接地元件围绕所...
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