技术编号:5942946
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种,尤指一种分析白光干涉条纹以。背景技术 量测待测物表面轮廓可让使用者了解待测物表面轮廓是否正常或符合使用者的预期,而目前量测待测物表面轮廓的技术是使用白光垂直扫描干涉(vertical scanning interferometry)分析的方法。白光是指波长400-700纳米(nm)的宽频光,由于白光的相互干涉所需的长度极短,约为8-10纳米,所以光程差需小于相互干涉所需的长度,方能产生明显的干涉现象。故此方法可用以观察极小范围的变化,并对...
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