3d磁传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:5943022

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3D磁传感器背景技术磁场传感器器件广泛地用在传感器应用中,用于在许多汽车和工业应用中无接触地感测磁场。例如,在汽车应用中,霍尔效应器件可以用于通过测量嵌入在车轮中的磁畴的速度来测量自动刹车系统(ABS)速度传感器中的车轮速度。在该示例中,如果磁体接近固定的霍尔效应器件,则霍尔效应器件将测量磁场的增加。测量磁场增加所处的频率允许确定车轮的速度。典型地,磁场传感器器件被配置为测量沿单个轴的磁场分量。例如,半导体管芯内 包括的横向霍尔板可以被配置为测量沿与半导体...
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