技术编号：5943235
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种配备有具有MEMS结构的电容补偿器的差分电容型MEMS(微电机械系统)传感器设备，尤其是涉及这样一种配备有具有MEMS结构的电容补偿器的差分电容型MEMS传感器设备，该MEMS传感器设备包括其包含有一差分电容型MEMS传感器和电容补偿器的一MEMS结构，以便由电容补偿器对MEMS传感器的电容进行实时补偿，该MEMS传感器设备是通过简单过程来制造的，因此降低了生产成本，并且该MEMS传感器设备具有减小的尺寸。背景技术 近来，根据对微型多功能系统...
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