技术编号:5943514
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于约瑟夫逊效应的压阻式カ敏器件,属微机械电子。背景技术压阻式传感器是利用单晶硅材料的压阻效应实现的。当力作用于硅晶体吋,晶体的晶格产生变形,使载流子从ー个能级向另一个能级散射,引起载流子的迁移率发生变化,扰动了载流子纵向和横向的平均量,从而使硅的电阻率发生变化。由于压阻的变化量与应变成正比,因此压阻一般布置在柔性结构表面上,以获得更大的变形。由于压阻阻值的变化很小,因此需要额外电桥电路来测量电阻的微小相对变化。据文献显示,传统上用外电路检测...
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