用于压电陶瓷力电耦合条件下的循环疲劳寿命的测试方法技术资料下载

技术编号:5944099

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本发明涉及一种,能测试力电耦合加载下的循环疲劳寿命,适用于微电子领域力电耦合条件下小样品循环疲劳寿命的评价。背景技术压电材料具有优良的机电耦合效应和对外电场的响应能力,已被广泛用于制作大容量电容器、传感器等常规元器件以及微驱动器、微执行器等高科技电子产品。然而,用于压电压力传感器和微执行器中的压电陶瓷需在循环往复电场和力场下服役,在经过大量周期性疲劳加载后,它会发生力电耦合作用下疲劳损伤,导致器件功能退化和失效,典型特征表现为随着循环加载次数的增加,压电陶...
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