技术编号:5945090
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种静电电容检测技术,其以静电电容变化方式来读取指纹等具有微小凹凸的被检物的表面形状。背景技术 在特开平11-118415号公报、特开2000-346608号公报、特开2001-56204号公报、特开2001-133213号公报中,公开了一种指纹识别技术,其将单晶硅基板上形成的传感器电极表面用感应膜覆盖,并将手指电位作为基准电位,利用在手指和传感器电极之间形成的静电电容根据指纹的凹凸而发生变化来识别指纹。但是,现有的静电电容式指纹传感器由于被形成...
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