发光器件检查设备和方法技术资料下载

技术编号:5945137

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本公开涉及用于检查发光器件的关于影响其电学和光学特性、外观等的缺陷的方法和设备。背景技术发光器件(例如,发光二极管(LED))是能够经由形成在化合物半导体的PN结处的发射源实现各种颜色的光的半导体器件。LED具有长寿命,能够被最小化,质轻,对光具有 强的方向性,并能够被小电压驱动。另外,LED对冲击和振动具有高耐抗性,不需要预热时间和复杂的驱动结构,井能够封装成各种形式。因此,LED可以用于各种用途。发明内容通过一系列半导体制造エ序来制造发光器件,在这方面...
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