技术编号:5945844
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光谱技术的微加工装置,特别是一种飞秒激光薄膜微纳加工实时监测装直。背景技术激光诱导击穿光谱技术在元素识别和定量分析中是一个重要的工具。它具有可选性,破坏性小,分辨率高以及可对固态,液态,气态以及浮质材料进行实时分析,使得该技术的应用范围约来越广泛。1962年,Fred Brech首先提出用红宝石微波激射器诱导产生等离子体的光谱化学法;1964年Runge以及1965年Rasberry建立定量分析元素含量的参考曲线。1967年Kenneth使用红宝...
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