技术编号：5946030
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种可用于材料折射率和厚度的定性或定量测量，特别是涉及一种对块状材料表面或纳米薄膜材料进行定性或定量测量的入射角度扫描椭偏成像方法和装置。背景技术 几何厚度为零点几至几十纳米的纳米薄膜材料在分子生物学、生物化学、电化学、材料学、微电子学等领域具有广泛的应用，已经成为近年来科学研究的热点。与此同时，纳米薄膜检测技术也得到迅速的发展，其中电子显微镜、扫描力显微镜、近场光学显微镜应用已比较广泛。电子显微镜用电子射线作为探测光波对物体进行扫描成像，横向分...
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