一种基于硅微加工技术的光纤加速度计的制作方法技术资料下载

技术编号:5946589

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本发明涉及一种加速度计,尤其涉及一种光纤加速度计背景技术目前,常见的加速度计大多数是将外界加速度信号转化成为可动部分的位移。相位调制型光纤加速度计通过构成不同的干涉仪,将该位移信号转换成调制的光信号,并通过光纤传输,再将加速度信号从调制的光信号中解调出来。光纤加速度计传感头部分可以既不产生电磁信号,也不受电磁信号的干扰。因此,光纤加速度传感器可以应用于强电场、强磁场和强射频场环境中。相位调制光纤加速度计在灵敏度、信噪比和动态范围指标比光强调制型加速度计更好...
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