技术编号:5946825
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器,特别涉及一种。背景技术声表面波(SAW)气体传感器在环境监测、化学处理控制及临床分析等领域应用广泛,可以对302、水蒸汽、丙酮、甲醇、!12為5、叽等多种气体进行检测。声表面波气体传感器由SAW器件和敏感膜组成。前者是指在压电基片上成对制作叉指换能器(IDT)而构成能量转换器械。后者是指用特殊工艺在SAW器件声波的传输通道上覆盖的对待测气体有选择性吸附作用的一层薄膜。通过检测输出IDT上出现输出交流电信号的相位、频率和延迟等指标的改变,就...
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