技术编号：5947111
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种微机电系统装置，且特别是一种具有振荡模块的微机电系统装置。背景技术近年来受惠于智慧型手机、平板电脑、体感游戏机等相关电子产品的带动下，而使微机电惯性感测元件，例如加速度计与陀螺仪(角速度计)，其市场需求呈现逐年大幅地成长。因此，国际大厂纷纷投入大量资源，以开发高性能低成本的微机电惯性感测元件。特别是在加速度计技术已相对成熟下，新一代高性能低成本的角速度计将成为微机电惯性感测元件厂商在市场上的主要竞争产品。图9是某种传统微机电陀螺仪的结构示意...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。