技术编号：5947566
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种边缘安装的传感器。背景技术为了形成对多个加速度计或陀螺仪的完全屏遮，其中所有的机构都是一祥的，则其中至少ー个机构必须被安装在复杂的定制组件中或者裸芯必须被边缘安装。各种微机械装置，例如微机械陀螺仪，要求气密密封以确保长期、准确的运行。传统的气密密封是通过将该装置安装在气密密封的壳体或封装中实现的。进出该被封装的装置的输入和输出电连接由嵌入成通过该封装的多个部分的导体提供，从而允许导电径迹或 金属线被连接到该装置。不过，这种类型的气密密封封装往...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。