技术编号:5947947
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器,特别涉及一种微米级被动式动态位移传感器。背景技术位移传感器是传感器的一种,它是把位移量转换为电量的传感器。位移传感器是新技术革命和信息社会的重要技术基础,它在工业自动化、军事、医疗、国防等各个领域具有广泛的应用。目前,市场上的位移传感器的种类多种多样,有激光位移传感器、电感式位移传感器,电容式位移传感器,霍尔式位移传感器等。这些传感器适应不同种类的测量需求,但总体分析看来,这些传感器属于主动式传感器,需要能量消耗;同时,这些传感器在成本、...
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