技术编号：5948061
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及半导体集成电路的制造，以及更具体地说，涉及用于质量流控制器的检定和校准的方法和装置，通过该质量流控制器，将气体供给在集成电路制造期间使用的处理室(process chamber)。背景技术 集成电路(或芯片)包括具有用衬底内的掺杂区形成的半导体器件，诸如晶体管的硅衬底。在覆盖该半导体衬底的多个并行层(parallellayer)中形成的导电互连结构电连接半导体器件以便形成集成电路内的电子电路。制造集成电路从硅晶片开始，该硅晶片经过多个顺序的制...
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