技术编号:5948764
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ー种电容式传感器,所述电容式传感通过检测固定电极和可动电极之间的电容检测预定物理值。背景技术传统地,具有一种电容式传感器,其中形成具有通过弹性件由固定部分支撑的可动电极的结构,可动电极可以根据外力移近或远离固定电极,检测这些电极之间的电容,从而检测例如加速度和角速度(參见专利文献I)的各种物理值。作为此电容式传感器,具有可以通过例如加速度的物理值的位移的一个质量部分检测在垂直轴的方向的物理值的公知的电容式传感器(參见专利文献2和专利文献3)。根据...
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