技术编号：5948957
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本专利涉及光学、集成光电子学、纳米材料、纳米加工、纳米测量、仪器科学等多学科交叉的前沿研究領域。背景技术从Taniguchi最早提出“纳米技木” 一词到现在，纳米技术已经走过了几十年的历 程，但是目前在纳米所取得的研究成果基本上都处于实验室阶段，如何把理论研究成果产品化和实现大規模制造的实用产品成为了纳米技术继续向前发展的瓶颈，而纳米測量技术是制约纳米技术发展的关键因素。纳米测量主要包括纳米级精度的尺寸及位移测量和纳米级表面形貌测量。表面形貌是微纳器件失效...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。