技术编号：5949134
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于微型机电系统(MEMS)中的基于纳米粒子磁流变弾性体薄膜的微型磁场传感器，属于微机电和传感器科学领域。背景技术磁场传感器是指可以将磁场及其变化的量转变成电信号输出的装置。磁场传感器在エ业、军事、生物、医学等领域的应用非常广泛。例如，磁场传感器应用于计算机硬盘磁头上，使读取数据更精确，速度更快；磁场传感器制成的磁罗盘，帮助飞机船只更精确的定位；ー些精密的磁场传感器，如超导量子干渉器件磁强计，可以测量人体的心磁、肺磁和生物组织磁化率，有助于病...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。