技术编号:5950316
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于微机电系统,具体涉及一种薄膜微桥结构。背景技术自1800年英国物理学家赫胥尔发现了红外线以后,由于红外线具有能穿透黑夜、厚云和浓烟等进行探测和成像的特殊本领,红外探测就成为科研工作者的一个重要研究内容。红外探测器分为两类光子探测器和热探测器。光子探测器具有很高的灵敏度,但是需要在体积和功耗都相对较大的制冷器协助下才能正常工作。而热探测器可以在室温下正常工作,无需制冷器协助,与光子型红外探测器相比,具有体积小、重量轻、价格低和操作简单等很多优点...
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