半导体测试夹具以及使用该夹具的耐压测定方法技术资料下载

技术编号:5950677

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本发明涉及半导体测试夹具以及使用了该半导体测试夹具的耐压测定方法,特别涉及能够适合使用于宽带隙半导体的耐压测定的半导体测试夹具以及使用了该半导体测试夹具的耐压测定方法。背景技术对于使用了作为高耐压的半导体的宽带隙半导体的功率器件半导体来说,在安装于封装之前的芯片的状态下进行电特性的测定(以下,也称为测试)。在电特性的测定项目中包括耐压测定。对功率器件来说,耐压作为重要的性能之一而被举出,耐压测定是必定应该进行的项目。作为以往的用于对一般的高耐压功率器件半导...
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