修补装置以及修补方法、器件的制造方法技术资料下载

技术编号:5950959

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本发明涉及例如对LSI元件、LED元件以及激光元件等发光元件等的检查以及处理对象的器件进行检查的ESD耐受性试验的结果或者通常动作试验的结果,使不合格器件恢复至正常的绝缘状态的修补装置以及修补方法、利用了该修补装置的器件的制造方法。背景技术以往,在LSI元件的输入电路侧连接有保护ニ极管,并检查保护ニ极管的ESD耐受性。在LED元件以及激光元件等的发光元件中,发光元件本身具有ニ极管结构。该ニ极管结构由P型扩散层以及η型扩散层的Pn结构成,因此根据P型扩散层以...
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