技术编号:5951096
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及热式流体流量传感器及其制造方法,尤其涉及可有效适用于热式流体流量传感器的技术,该热式流体流量传感器适用于測量内燃机的吸入空气的热式流体流量计。背景技术作为设于汽车等的内燃机的电子控制燃料喷射装置来測量吸入空气量的空气流量计所使用的热式流体流量传感器,由于热式流体流量传感器可直接检测质量空气流量, 因此成为主流。其中,尤其利用半导体微加工技术制造出的热式空气流量(air flow)传感器,可降低制造成本且能够以低功率驱动,因此受到瞩目。作为这样的空...
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