技术编号:5951132
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。集成压力传感器密封背景技术压力传感器用在许多背景中,例如诸如汽车、工业、医疗、航空、以及消费类电子产品。例如,在汽车背景中,压力传感器用于测量进气歧管空气压力和真空,并且还可以用于气囊展开和其他应用中。常规压力传感器封装在集成电路(IC)封装中。然而,一些常规IC封装将它们的压力传感器毫无遮掩地暴露于周围环境(例如,毫无遮掩地暴露 于空气)以便传感器可以测量周围压力。然而,不幸的是,将压力传感器毫无遮掩地暴露于周围环境可能产生问题。例如,来自周围环境的零星...
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