技术编号:5951482
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,利用表面等离子体波在半导体表面的传播特性对半导体等离子体频率进行测量,属于半导体性能参数测量。背景技术半导体产业是电子工业的基础,半导体器件在工业生产与日常生活的各个方面已大量被使用,而半导体器件的发展水平已成为衡量一个国家综合国力的重要标志之一。如今,半导体器件的发展很大程度上依赖于新型的半导体材料的开发。当一个新的材料开发后,需要对该材料特性进行测量。而半导体的等离子体频率是半导体特性中较为重要的一个参数,所以开发一种简单实用的测量半导体等...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。