技术编号:5951542
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种精密驱动的装置,具体是一种具有精密驱动机构的振动平台。背景技术近些年来,由于微纳米器件和超精密制造领域技术的发展,迫切需要一种用于微纳米及扰振动主动控制振动平台,用于解决微纳米器件和超精密加工过程中的微振动问题。目前由于振动设备主要由液压、气动、电磁以及机械振动方式来实现。这些振动设备 由于是由液压、气动和机械类振动行为来实现,其振动驱动实现组成环节多,多部件传动间隙,每个部件的尺寸精度误差等,使这类部件在驱动的实现上不可能实现微纳米振幅...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。