技术编号：5951721
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学薄膜测试装置，尤其涉及一种适合于高功率准分子激光系统中的光学薄膜激光损伤测试装置。背景技术准分子激光系统中应用到多种光学薄膜，薄膜激光损伤测量对于系统工作的可靠性具有重要的意义。光学薄膜激光损伤测试不仅需要均匀辐照，而且需要大范围的改变入射到薄膜的激光功率密度，以适应各种器件的要求，此外在测试中还要保证辐照功率变化时光斑位置和尺寸不发生变化，以实现准确和可靠测量。 《强激光与粒子束》(Vol.10, 1998，pl23_126 和 Vol...
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