技术编号:5951826
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种风速风向传感器及其制备方法,具体来说,涉及。背景技术风速、风向是反应气象情况非常重要的参数,对环境监测、空气调节和工农业的生产有重要影响,因此快速准确测量出风速和风向具有重要的实际意义。众所周知,利用机械加工的风杯和风向标虽然也能测量风速和风向,但这些机械装置因具有移动部件而易磨损,同时具有体积大,价格昂贵,需要经常维护等缺点。典型超声风速传感器发射和探测接收头位置固定,因此相对结构也较大。基于MEMS加工技术的微型流速传感器具有体积小,价格...
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