技术编号：5951890
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种传感器结构，具体来说，涉及一种用于检测二维光点位置的传感器。背景技术光点位置传感器在光学位置和角度的测量与控制、远程光学控制系统、位移和振动监测、激光光束校准、自动范围探测系统以及人体运动及分析系统等领域有广泛的应用。传统的光点位置检测传感器是制作在娃材料上的，由大面积PIN光电二极管构成，它与分立单元探测器阵列相比，具有位置分辨率高、响应电流简单、快速等优点。近年也有SOI衬底硅上制造PIN型光点位置检测传感器的报道。采用PIN结构实现光点...
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