技术编号:5951948
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种物质含量的分析方法,特别是涉及一种AZO陶瓷靶材中氧化锌和氧化铝含量的测定方法。背景技术氧化物透明导电薄膜简称TC0,主要有In、Sb、Zn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料,其中以锡掺氧化铟薄膜(IT0)为代表,具有禁带宽、可见光谱区透射率高和电阻率低等综合光电性能。近年来,随着氧化锌薄膜的研究的不断深入,铝掺氧化锌薄膜(AZO)具有与ITO薄膜相媲美的光电心里,以及成本低和在氢等离子体中稳定性等优点被认为是最有发展潜力的TCO薄膜材...
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