技术编号：5952458
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微机电系统的方法，具体涉及一种金属薄膜应变计的MEMS加工方法。背景技术应变是机械零件和构件等物体内任一点或单元体因外力作用引起的形状和尺寸的相对改变。电阻应变计是将被测试件的应变量转换成电阻变化量的敏感元件，是实验应力分析中测量应力、应变和进行结构强度试验的关键元件，也是用来制造能测量多种物理量的传感器的敏感元件，得到广泛的应用。传统应变计由于较低的灵敏度和高功耗，难以满足微小应变测量和低功耗测量的要求。MEMS加工方法扩展了应变计的应...
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