技术编号:5952780
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学显微测量技术,主要涉及一种用于微结构光学兀件、微结构机械元件、集成电路元件中三维微细结构、微台阶、微沟槽线宽、深度及表面形状测量的超精密非接触测量方法与装置。背景技术共焦点扫描测量是微光学、微机械、微电子领域中测量三维微细结构、微台阶、微沟槽线宽、深度及表面形状的重要技术手段之一,但传统共焦技术一直受到传统透镜成像数值孔径小于I的原理局限。差动共焦扫描测量是典型的改进型测量方法之一。差动共焦扫描测量包括具有高空间分辨成像能力的共焦干涉显微镜(...
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