技术编号:5953236
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于点衍射干涉仪测试领域,具体涉及。背景技术干涉仪是一种高精度的光学测量设备,其中,点衍射干涉仪采用小孔衍射的波前作为测试基准波前,具有很高的精度,已被应用于超高精度的光学检测、测量中。点衍射干涉仪由于小孔衍射的原因,它出射的球面光束的光强分布不均匀,中心区域的光强亮度明显高于边缘区域。这样点衍射干涉仪在测试高数值孔径的光学元件和光学系统时,干涉条纹的边缘的亮度会比中心区域的光强下降。由于点衍射干涉仪一般采用相机作为采集干涉条纹的传感器,它与控制计算...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。